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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

Track核心機(jī)器人 雙臂撈取手


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產(chǎn)品詳情

  • 參數(shù)
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 項(xiàng)目                      參數(shù)
    性能 行程 Z軸(升降) 1470mm(可定制)
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) 340deg(可定制)
    RW軸(伸縮) 435mm(可定制)
    最高速度 Z軸(升降) 650mm/sec
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) 250deg/sec
    RW軸(伸縮) 1500mm/sec
    重復(fù)定位精度 Z軸(升降) ±0.1mm
    Theta軸(旋轉(zhuǎn)) ±0.02deg
    R/W軸(伸縮) ±0.1mm
    最小回轉(zhuǎn)直徑 φ580mm
    可達(dá)半徑 550mm
    概覽 支持wafer尺寸 6/寸8寸/12寸
    潔凈度 Class 1@0.1um
    負(fù)載 1.0kgf
    Fork Fork形式 撈取
    Fork材質(zhì) 陶瓷
    廠務(wù) 電源 單相AC220V,50/60Hz
  • 12”Track核心機(jī)器人-雙臂撈取手.DWG   

    12”Track核心機(jī)器人-雙臂撈取手.pdf   

    12”Track核心機(jī)器人-雙臂撈取手.STEP   

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